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    三箱式RTO

    發(fā)布時間:2021-01-07

    三箱式RTO是第二代產(chǎn)品 ,用于國外的半導體工廠

     


    三箱式RTO簡述

    利用蓄熱材料的直接、高效換熱,用于廢氣治理是國外上世紀九十年代才出來的新技術。我公司在消化蓄熱換熱原理、熱力氧化爐技術基礎上,開發(fā)了兩廂、三廂及多廂反吹蓄熱式氧化爐。這種爐型工藝先進、運行長期穩(wěn)定、成本低廉,實現(xiàn)全自動控制。將有機廢氣預熱至800℃以上,在氧化燃燒室升溫加熱至850℃,停留時間為>1.2s,使廢氣中的VOC氧化分解成無害的CO2和H2O;氧化時的高溫氣體的熱量被蓄熱體“貯存”起來,用于預熱新進入的有機廢氣,從而節(jié)省升溫所需要的燃料消耗,降低運行成本。


    工作原理
    待處理有機廢氣進入蓄熱室1的陶瓷介質(zhì)層,陶瓷釋放熱量,溫度降低,而有機廢氣吸收熱量,溫度升高,廢氣離開蓄熱室后以較高的溫度進入氧化室,此時廢氣溫度的高低取決于陶瓷體體積、廢氣流速和陶瓷體的幾何結(jié)構(gòu)。在氧化室中,有機廢氣再由燃燒器加熱升溫至設定的氧化溫度,使其中的VOC成分分解成二氧化碳和水。由于廢氣已在蓄熱室內(nèi)預熱,燃料耗量大為減少。氧化室有兩個作用:一是保證廢氣能達到設定的氧化溫度,二是保證有足夠的停留時間使廢氣中VOC充分氧化。 廢氣在氧化室中焚燒,成為凈化的高溫氣體后離開氧化室,進入蓄熱室2(在前面的循環(huán)中已被冷卻),放熱降溫后排出,而蓄熱室2吸收大量熱量后升溫(用于下一個循環(huán)加熱廢氣)。凈化后的廢氣經(jīng)煙囪排入大氣,同時引小股凈化空氣清掃蓄熱室3。排氣溫度比進氣溫度高約40℃左右。循環(huán)完成后,進氣與出氣閥門進行一次切換,進入下一個循環(huán),廢氣由蓄熱室2進入,蓄熱室3排出。同時引回一部分凈化氣清掃蓄熱室1。周而復始,連續(xù)工作。


    三箱式RTO流程圖



    三箱式RTO


    性能特點
    采用蓄熱式換熱裝置,蓄熱載體與氣體直接換熱,爐膛輻射溫壓大,加熱速度快;低溫換熱效果明顯,所以換熱效率特別高:大限度回收氧化產(chǎn)物中的濕熱。熱效率高,排煙溫度低,節(jié)能效果明顯。降低燃料消耗也就意味著減少了溫室氣體的排放。
    2、蓄熱室內(nèi)溫度均勻分級增加,加強了爐內(nèi)傳熱,換熱效果更佳。
    3、擴大了高溫火焰氧化區(qū)域,火焰的邊界幾乎擴展到爐膛的邊界,從而使得爐膛溫度均勻,這樣一方面提高了凈化效率,另一方面延長了爐膛壽命;
    4、氧化室內(nèi)的溫度整體升高且分布更趨均勻;爐膛溫度可達800℃,氣流速度小,氧化速度快,煙氣再爐內(nèi)高溫停留時間長,有機物氧化分解完全,環(huán)保效果明顯;
    5、系統(tǒng)采用PLC自動氧化控制,自動化程度高、運行穩(wěn)定、安全可靠性高;
    6、可根據(jù)廢氣情況,合理設置熱能回收裝置,在高溫氧化室接換熱器、導熱油爐或余熱鍋爐;低溫煙氣用來加熱廢氣,充分利用治理廢氣中余熱。

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